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半導體檢測實驗室建設設計要求總結 2023-08-09
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原標題:半導體檢測實驗室建設設計要求總結半導體檢測實驗室建設設計要求總結,隨著中國“芯”計劃的確立,國家出臺各項政策支持國內半導體產業發展,第三代半導體的發展、十大新基建的國產化,引爆了對芯片的強勁需求,以及展示了芯片強大的實力和潛力。半導體和芯片的生產環境和設備要求極高,那么半導體和芯片潔凈區的環境要求有哪些呢?廣東實驗室工程總承包單位科藝普實驗室廣東實驗室工程總承包單位科藝普實驗室承接各領域實驗室建設EPC總包工程(提供各行各業實驗室設計規劃解決方案,從初期咨詢、設計裝修、規劃、生產安裝施工、一站式實驗室建設服務,建設實驗室符合國家標準規范、資質齊全)廣東實驗室工程總承包單位科藝普實驗室1.芯片、半導體生產環境的要求由于電子產品在制造、生產過程中對室內空氣環境和品質的要求極為嚴格,主要以控制微粒和浮塵為主要對象,同時還對其環境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴格的規定。(1)室內的噪聲級(空態):不應大于65dB(A)。(2)垂直流潔凈室滿布比不應小于60%,水平單向流潔凈室不應小于40%,否則就是局部單向流了。(3)與室外的靜壓差不應小于10Pa,不同空氣潔凈度的潔凈區與非潔凈區之間的靜壓差不應小于5Pa。廣東實驗室工程總承包單位科藝普實驗室(4)潔凈室內的新鮮空氣量應取下列二項中的最大值。(5)補償室內排風量和保持室內正壓值所需的新鮮空氣量之和。(6)保證供給潔凈室內每人每小時的新鮮空氣量不小于40m3。(7)凈化空調系統加熱器,應設置新風,超溫斷電保護,若采用點加濕時應設置無水保護,寒冷地區,新風系統應設置防凍保護措施,無塵室的送風量。廣東實驗室工程總承包單位科藝普實驗室2.復雜設計施工與高建造費用電子芯片潔凈車間有著嚴格的潔凈度要求,可想而知,其設計施工也是相當復雜的。此外,潔凈度越高,建造費用也越高。例如100級單向流潔凈室,僅室內裝修與空調潔凈系統的建造費用就要萬元或以上一平方。再加上消防、三廢、供配電和自控系統,建造費用就要更高了。當完成電子芯片潔凈車間的建造后,還要經過3方面的驗收,即:空態驗收、靜態驗收、動態驗收,只有完成驗收才能投入日常使用。因此,面臨巨大的技術風險,以及后續運行、維護和調試、檢測的壓力。廣東實驗室工程總承包單位科藝普實驗室廣東實驗室工程總承包單位科藝普實驗室3.半導體芯片溫濕度控制半導體潔凈室中相對濕度的目標值大約控制在3

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